Excimer-technologie wordt in veel industriële sectoren en toepassingen gebruikt. Excimer staat voor "geëxciteerd dimeer", met andere woorden een dimeer (bijvoorbeeld Xe-Xe-, Kr-Cl-gas) dat wordt geëxciteerd naar een hogere energietoestand na toepassing van een wisselspanning. Deze werkwijze scheidt fysisch ten minste één van de elektroden van het dimeergas door middel van een diëlektrische barrière laag (synthetisch kwartsglas). Het synthetische kwartsglas maakt transmissie van UV-licht mogelijk, zelfs bij golflengten onder 200 nm. Om het probleem van de absorptie door zuurstof in de lucht te omzeilen, wordt het proces uitgevoerd in een inerte atmosfeer die stikstof gebruikt.
Bestraling van oppervlaktebekledingen met korte golf excimer-bundels polymeriseert de toplaag en vormt een dunne, uitgeharde film op het oppervlak. Omdat polymerisatie ook krimp tot gevolg heeft, vertoont de film dichtbij het oppervlak microvezels die een mat oppervlak creëren. Bijgevolg hoeft de formulering geen matterende middelen te bevatten. De coating wordt vervolgens stroomafwaarts diepgehard door conventionele middendruk UV-lampen.
UV-reinigingsmethoden spelen een sleutelrol in de display- en halfgeleidersector. Zeer korte golflengte UV-licht (piekwaarde 172 nm) wordt gebruikt om de bindingen in organische stoffen te verbreken. Extra vorming van ozon oxideert deze verontreinigingen tot koolstofdioxide en water. Het resultaat is een schoon oppervlak. De modificatie van oppervlakken verbetert de oppervlaktespanning, wat op zijn beurt de bevochtigbaarheid verbetert. Bevochtigbaarheid wordt gemeten via contacthoek. Een significant effect wordt bereikt bij golflengten van minder dan 200 nm. Toepassingsgebieden: productie van displaypanelen, productie van touch panel, productie van wafer.
Ozon vormt bij golflengten onder 242 nm. Tegen die tijd heeft de energiewaarde van het lichtequivalent een waarde bereikt waarmee het zuurstofmolecuul (O2) kan worden gesplitst in zuurstofatomen (O). Als de zuurstofatomen reageren met een zuurstofmolecuul, vormt zich ozon (O3). De golflengte van 172 nm en de bijbehorende hoogenergetische straling maken van een excimer een goede "ozongenerator".
Schade aan DNA treedt op bij golflengten tot 280 nm. Dit voorkomt dat bacteriën en virussen zich vermenigvuldigen. Er is een hoge mate van effectiviteit in het bereik van 254 nm, maar ozon absorbeert de overeenkomstige golflengten van HG-lampen met gemiddelde druk. Toepassingsgebieden: bleekmiddelen in de textielen schuimstofindustrie, desinfectie van water en lucht.
