Technologia ekscymerowa znajduje zastosowanie w wielu dziedzinach przemysłu. Ekscymer oznacza "wzbudzony dimer". W ekscymerach ośrodkiem aktywnym jest sztuczna molekuła złożona z gazu obojętnego (Ar, Kr, Xe) i halogenu. Taka molekuła nie istnieje w warunkach „normalnych”, ale może zostać utworzona podczas wyładowania elektrycznego. Przy dysocjacji molekuła uwalnia energię wiązania chemicznego w postaci promieniowania UV. Syntetyczne szkło kwarcowe umożliwia transmisję światła UV, nawet przy długości fali poniżej 200 nm. Aby obejść problem absorpcji tlenu z powietrza, proces przebiega
w atmosferze obojętnej, z wykorzystaniem azotu.
W technologii ekscymerowej wykorzystuje się promieniowanie UV o krótkich falach wytwarzających wysoką energią, które powierzchniowo penetrują powłoki lakiernicze. Na powierzchni bardzo szybko utwardza się cienka warstwa lakieru, pod którą znajduje się płynny lakier. W związku z tym kurczy się ona, staje się pofałdowana i nie odbija promieni słonecznych, dając efekt matowy. Całość podłoża jest następnie utwardzana za pomocą długofalowego promieniowania UV.
Metody czyszczenia UV odgrywają kluczową rolę w branży wyświetlaczy i półprzewodników. Światło ultrafioletowe o bardzo krótkiej długości fali (wartość szczytowa 172 nm) służy do rozrywania wiązań w substancjach organicznych. Dodatkowe wytwarzanie ozonu utlenia te zanieczyszczenia do dwutlenku węgla i wody. Rezultatem jest czysta powierzchnia.
Modyfikacja powierzchni poprawia napięcie powierzchniowe, co z kolei poprawia zwilżalność. Zwilżalność jest mierzona za pomocą kąta zwilżania. Znaczący efekt osiąga się przy długości fali poniżej 200 nm.
Obszary zastosowania: produkcja wyświetlaczy, produkcja paneli dotykowych, produkcja płytek elektronicznych.
Ozon tworzy się przy długości fali poniżej 242 nm. Zanim to nastąpi, światło UV, uderza w cząsteczki tlenu (O2) zrywając ich wiązania. Uwolnione atomy (O) łączą się z innymi cząsteczkami tlenu wytwarzając ozon (O3). Długość fali wytwarzanych przez ekscymer - 172 nm i związane z tym promieniowanie wysokoenergetyczne sprawia, że ekscymer jest dobrym „generatorem ozonu”.
Uszkodzenie DNA występuje przy długości fali do 280 nm. Zapobiega to namnażaniu się bakterii i wirusów. Istnieje wysoki stopień skuteczności w zakresie 254 nm, ale ozon pochłania odpowiednie długości fal ze średnio-ciśnieniowych lamp Hg. Obszary zastosowania: wybielanie w przemyśle tekstylnym i przy produkcji materiałów piankowych, dezynfekcja wody i powietrza.
